オンリーワンのX線テクノロジーで未来を描く

Technology

斜めCTと直交CTの違い

CT撮影においてX線発生器にサンプルを近づける事で倍率が高くなります。

従来の直交CT撮影においては平たく大きな基板サンプル等は回転半径分X線源に近づけられない為、着目ポイントに対して

低倍率での観察に留まっていました。

斜めCTではステージ回転中にX線源と干渉しない為、直交CTでは実現しなかった高倍率での撮影が可能となりました。

更に弊社装置の特長であるユーセントリック機構によりサンプル搭載ステージ上、着目ポイントがどこにあっても斜めCT撮影を行うことが可能です。

関連製品