3次元斜めCT

サンプルに対して垂直にX線を照射する一般的な横型CTでは、アスペクト比のある大型基板などは断層データがノイズだらけになってしまいます。それに対し、斜めCTはユーセントリック機能を利用してディテクターを斜め方向に傾斜した状態でCT撮影を行うため、  大型基板でも360度方向同一条件での撮影ができます。
また、X線焦点に着目部位を近づけることができるため、高拡大倍率での断層撮影も可能です。特別な治具も不要で、サンプルをステージ上に置くだけで断層撮影ができるという高い操作性も実現しました。